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產(chǎn)品特點(diǎn)

· 噪音低

· 集成控制系統(tǒng)，可無人值守和遠(yuǎn)程控制

· 工作范圍廣，在10Pa~10e5Pa范圍內(nèi)抽速無衰減

典型應(yīng)用

微電子、半導(dǎo)體、鋰電池行業(yè)、光伏產(chǎn)業(yè)、空間模擬、冶金系統(tǒng)、鍍膜、

 電漿制程、制程氣體抽取、電子加工、生技/制藥、化工等行業(yè)